滲源成功攻克了1ppt或1ng/L超純水電子級超純水標(biāo)
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電子級水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中的“萬億分之一濃度”通常指的是水質(zhì)中特定雜質(zhì)的含量極低,這個濃度單位對應(yīng)的是ppb(parts per billion,十億分之一)或ppt(parts per trillion,萬億分之一)級別。在半導(dǎo)體制造過程中,超純水的質(zhì)量直接影響到芯片的性能和產(chǎn)量,因此對水質(zhì)的要求極為嚴(yán)格。根據(jù)最新《GB11446.1-2013》的標(biāo)準(zhǔn),半導(dǎo)體超純水的水質(zhì)指標(biāo)要求可以達(dá)到ppt級別這意味著水中的雜質(zhì)濃度必須控制在極低的水平。這些標(biāo)準(zhǔn)確保了超純水能夠滿足高端半導(dǎo)體生產(chǎn)的苛刻要求,避免由于水質(zhì)問題導(dǎo)致的生產(chǎn)缺陷。
半導(dǎo)體和微電子行業(yè)在制造過程中對水質(zhì)的純凈度有著極其嚴(yán)格的要求,因為即使是極微量的雜質(zhì)也可能嚴(yán)重影響最終產(chǎn)品的性能和可靠性。超純水在這些行業(yè)中的使用主要是為了清洗硅片,所以電子級水質(zhì)對于半導(dǎo)體制造至關(guān)重要,主要基于以下幾點原因:
影響芯片質(zhì)量和產(chǎn)量:半導(dǎo)體制造過程中,超純水被用于清洗、蝕刻、沉積、光刻等關(guān)鍵步驟。微小的顆?;螂s質(zhì)可能導(dǎo)致芯片缺陷,影響其性能和壽命。因此,超純水在芯片制造過程中的作用不可或缺,直接關(guān)系到成品率和良品率。
防止設(shè)備腐蝕和污染:普通水中含有氯、硫等雜質(zhì),會腐蝕芯片中的金屬。如果水中有鈉、鉀等金屬雜質(zhì),會造成移動離子污染(MIC)等問題。超純水應(yīng)運(yùn)而生,以提供一個絕對干凈的水質(zhì)環(huán)境。
精密制造的需求:隨著集成電路工藝的不斷微縮,對超純水的質(zhì)量提出了更加苛刻的要求。超純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)包括電阻率、總有機(jī)碳(TOC)、溶解氧(DO)、微粒含量等,這些指標(biāo)的微小差異都可能導(dǎo)致半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)過程的產(chǎn)品質(zhì)量和合格率的下降。
環(huán)境保護(hù)和資源節(jié)約:可靠的水凈化系統(tǒng)不僅對制造業(yè)很重要,它還確保半導(dǎo)體制造不會對公共健康或當(dāng)?shù)厣鷳B(tài)系統(tǒng)產(chǎn)生負(fù)面影響。水凈化系統(tǒng)可以幫助半導(dǎo)體行業(yè)以更負(fù)責(zé)任的方式使用更少的水和用水,減少水資源浪費(fèi)。
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